Die Pirani-Messwertgeber der Serie VersaTorr BVT100/125 bieten die beste Leistung ihrer Klasse und haben neue Maßstäbe gesetzt, indem sie den nutzbaren Messbereich für Wärmeleitfähigkeits-Vakuummessgeräte um 1 bis 3 Jahrzehnte erweitert haben.
Die VersaTorr BVT100/125 Serie basiert auf modernster MEMS (Microelectromechanical Systems) Sensortechnologie, kombiniert mit einer neuartigen digitalen Präzisionssignalverarbeitungsarchitektur und fortschrittlichen innovativen Messalgorithmen. Zusammen mit präzisen automatisierten Herstellungs- und Kalibrierungsprozessen ergeben diese Elemente ein einzigartiges Produkt, das eine kompromisslose Messleistung bietet.
Die bekannte Gasabhängigkeit im Grobvakuumbereich von Wärmeleitfähigkeitsmessgeräten wurde durch die Integration eines MEMS-Membransensors beseitigt, der eine mit teureren Kapazitätsmanometern vergleichbare Präzisionsleistung bietet. Diese Eigenschaft gewährleistet eine genauere Steuerung der Entlüftungsvorgänge des Vakuumsystems und kann eine Überdruckbeaufschlagung des Vakuumsystems verhindern.
Merkmale und Vorteile
Ultraweiter Messbereich von 9 Dekaden
Fortschrittliche digitale Signalverarbeitung bietet ein unübertroffenes Preis-Leistungs-Verhältnis
Einfache Konfiguration über Brooks Vacuum Transducer Communicator USB-Programmiergerät
Ultrastabile Nullpunkt-Driftkompensation
Optionales Halbleiter-Sollwertrelais für die Prozesssteuerung
Anwendungen
Lastschleusen
Transferkammern
Vorlaufleitungen
Vakuum-Schrupplinien
Dünnschicht-Verarbeitung
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