Thermischer Massendurchflussregler EL-FLOW® Metal Sealed
für Gasdigital

thermischer Massendurchflussregler
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Eigenschaften

Technologie
thermisch
Flüssigkeit
für Gas
Weitere Eigenschaften
digital
Durchsatz

Min: 0 l/min (0 us gal/min)

Max: 50 l/min (13 us gal/min)

Druck

1.500 psi

Beschreibung

Für die Versorgung mit hochreinem Gas Metalldichtgas-Massendurchflussmesser und -Regler von Bronkhorst zeichnen sich durch ihre einzigartige, patentierte Metall-Metall-Dichtungskonstruktion mit ausgezeichneter Wiederabdichtungsfähigkeit aus. Darüber hinaus zeichnen sie sich durch eine hohe Oberflächenqualität aus und eignen sich daher besonders für die Anforderungen der Halbleiter- und Solarindustrie sowie für andere Anwendungen mit hochreinen Gasen. Die Basisblöcke der Massendurchflussmesser und -regler haben 1/4"-Stirndichtungsstiftanschlüsse (VCR). -niedrigster Bereich 0,12...6 mln/min -Höchster Bereich 1... 50 ln/min Metallgedichteter Massendurchflussmesser/-regler mit Feldbus-Schnittstelle Heutige Instrumente sind mit einer digitalen Leiterplatte ausgestattet, die eine hohe Genauigkeit, eine ausgezeichnete Temperaturstabilität und eine schnelle Reaktion (Einschwingzeit t98 bis zu 500 msec) bietet. Das neueste EL-FLOW®-Design verfügt über eine Multi-Gas-/Multi-Range-Funktionalität und bietet (OEM-)Kunden optimale Flexibilität und Prozesseffizienz. Für die Bequemlichkeit des Kunden bietet Bronkhorst eine einfach zu bedienende Konfigurationssoftware an. Merkmale -Wiederverschließbare Metall-Metall-Außendichtungskonstruktion (keine Ringe) -Elektropolierte benetzte Teile -Reinraum montiert -Analoge und digitale E/A, mit optional integrierter Schnittstelle zu CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus oder FLOW-BUS -Hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit -Stabile Steuerung, auch bei unterschiedlichen Prozessvolumen

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Kataloge

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* Die Preise verstehen sich o.MwSt., Lieferkosten, und Zollgebühren. Sie enthalten keine der Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohmaterialien und Wechselkurs schwanken können.