Massendurchflussmesser CS300 series

für FlüssigkeitenEdelstahlRS485

Sevenstar bringt die neue Generation des CS300 MFC für das Halbleitermarketing auf den Markt. Basierend auf der CS-Technologieplattform ist das CS300 die neueste Generation, die speziell für große IC-Anlagen entwickelt wurde. Das CS300 MFC verfügt über einen DF-basierten Druckausgleichsalgorithmus, eine verbesserte Oberflächenbearbeitung und eine dem SEMI-Standard entsprechende Spezifikation, außerdem sind eine 1,125"-IGS-W-Dichtung und eine C-Dichtungsschnittstelle verfügbar. merkmale 1. Hohe Genauigkeit und schnelles Ansprechen die Genauigkeit des CS300 MFC wurde auf ±0,8% des S.P. verbessert, und die modernsten Modelle haben eine Reaktionszeit von weniger als 0,5 Sekunden. 2. Geringe Nullpunktdrift und Temperaturkoeffizient die Erfindung einer neuen Sensortechnologie ermöglicht es dem CS230 MFC, stabil zu bleiben und Temperaturschwankungen zu widerstehen. Ohne Auto-Zero-Verstärker beträgt die erwartete Nullpunktdrift weniger als 0,6%F.S./Jahr, und der Temperaturkoeffizient ist weniger als 0,02%F.S./℃(Null)，0,05%F.S./ ℃ (Spanne). 3. metallversiegelte Modelle und hohe Reinheit Funktion das spezielle Metalloberflächenverfahren wird bei CS300 angewendet. 316 Edelstahl VV wird verwendet und raue ness könnte weniger als 5 RA, die von der semi-Standards erforderlich ist. 4. Kompatible Schnittstellen das CS300 MFC ist mit den folgenden Schnittstellen kompatibel, die vom Kunden ausgewählt werden können: ±8V-±16V zweiseitige Stromversorgung und +14V-+28V einseitige Stromversorgung; digitaler oder analoger Signaleingang und -ausgang; mechanische Abmessungen nach SEMI-Standard; und RS-485- oder DeviceNetTM-Kommunikationsmodul. 5. Verschiedene Funktionen jedes Modell wird standardmäßig mit einer leistungsstarken Kundensoftware geliefert, während zusätzliche Funktionen wie Multi-Gas, Multi-Bereich, Auto-Zero, Alarme, Softstart und Verzögerung auf Kundenwunsch erhältlich sind.