Vakuummeter / kapazitiv mit Membran SPG

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Das SPG5A-6A ist ein Kapazitätsmembran-Vakuummeter, das einen Kapazitätsdrucksensor aus Saphir verwendet, um eine hohe Genauigkeit und Zuverlässigkeit, eine kompakte Größe und ein geringes Gewicht zu erreichen. Es sind selbstheizende und nicht selbstheizende Modelle erhältlich. Das SPG5A/6A ist besonders für den Einsatz in der Halbleiterfertigung geeignet. Merkmale * - Verwendet einen einkristallinen Saphir für ausgezeichnete Beständigkeit gegen Korrosion und hohe Temperaturen Hoch korrosions- und hitzebeständiges, einkristallines Saphir-Drucksensormaterial hat auch ausgezeichnete mechanische Eigenschaften. Die kapazitive Messung hat eine hohe Wiederholbarkeit auch bei hohen Temperaturen * - Hochgenaue Messung Fortschrittliche Signalverarbeitungstechnologie trägt zu hervorragenden Temperatureigenschaften und Linearität der Messung bei * - Kompakt und leichtgewichtig Klein in der Größe und leicht im Gewicht, dank der Mikrobearbeitungstechnologie * - Schnelle Aufwärmzeit und stabile Sensor-Temperaturregelung Die mikroprozessorgestützte digitale PID-Regelung sorgt für eine schnelle Aufwärmung und stabile Sensortemperatur (Modelle mit Eigenerwärmung).