Remote-Plasmaquelle Xstream

Das hocheffiziente Xstream® RPS dissoziiert große Mengen an NF3 und reinigt die Kammern schnell, wodurch die Gesamtleistung Ihres Werkzeugs verbessert wird. Die Plasmakammer besteht aus einer hochreinen Aluminiumlegierung und verfügt über patentierte Kühlfunktionen. Der Xstream RPS ist für eine jahrelange Lebensdauer ohne Reparaturen oder teure Kammerbeschichtungen ausgelegt und ist die intelligente Wahl für Zuverlässigkeit und effiziente Leistung. - Äußerst zuverlässige RPS maximiert die Betriebszeit des Werkzeugs - Effektiver Transport reaktiver Spezies zur Prozesskammer für verbesserte Leistung - Transformatorgekoppelte Plasmaquelle (TCP) mit integriertem Active Match Network (AMN) - Betriebsfrequenz von 225 kHz bis 660 kHz - 8 kW/10 kW Leistungsmodelle - Eliminierung teurer Kammerbeschichtungen durch kundenspezifische Aluminiumlegierung und Typ-III-Hartanodisierung - Verbesserung der Kammerleistung und Haltbarkeit durch ein Kühlsystem, das die thermische Belastung minimiert - Höhere Effizienz und verbesserte Leistungsabgabe an das Plasma durch ein Active Match Network - Präzise Steuerung von Leistung und Prozessen dank Echtzeit-Plasmamessungen - Erzielung einer zuverlässigen und reproduzierbaren Plasmazündung durch ein patentiertes Zündsystem