Remote-Plasmaquelle MAXstream

Die MAXstream™-Reihe von Advanced Energy ist die nächste Generation von ferngesteuerten Plasmaquellen für die Kammerreinigung. Die MAXstream ist in den Durchflussraten 3, 6, 8, 10 und 12 SLPM NF3 erhältlich, um Preis und Leistung zu optimieren. Um eine lange Lebensdauer der Kammern und eine geringe Partikelbildung zu gewährleisten, bringt Advanced Energy seine bewährten und differenzierten Materialien und Technologien für Plasmaquellen ein. Das einzigartige Design des doppelten Zündkerns bietet die klassenbeste Zuverlässigkeit der Plasmazündung. Mit einer zuverlässigen und jederzeitigen Zündung bietet die MAXstream RPS einen beständigeren Betrieb und weniger Ausfallzeiten für die Wartung der RPS. Die MAXstream RPS erleichtert die Drop-in-Kompatibilität mit herkömmlichen RPS-Systemen, was die Design-in-Kompatibilität vereinfacht und nahtlose Feld-Upgrades auf eine neue zuverlässige und wiederholbare Lösung ermöglicht. - Fünf Modelle: MAXstream 300 für Anwendungen mit geringem Durchfluss und MAXstream 600, 800, 1000, 1200 für Anwendungen mit höherem Durchfluss - Äußerst zuverlässiges RPS maximiert die Betriebszeit des Werkzeugs - Drop-in-Fähigkeit mit herkömmlichen RPS-Einheiten für einen einfachen Design-Upgrade-Pfad zu höherer Leistung und Zuverlässigkeit - Verbesserte Kühlung der Plasmaquellenwände zur Reduzierung von Schäden durch thermische Ausdehnung und chemische Erosion - Aktive Überwachung und Steuerung der Plasmaleistung für branchenführende Leistungssteuerung