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Hub: 500 mm
Wiederholbarkeit: 0,05 µm
... Produkt
Piezo Z-Tisch
Artikelnummer
00-55-550-0810
Zusatzinformationen
- inkl. Steuerung EBD-060310
- Stellweg: 500 µm
- Auflösung: 5 nm / 31 nm
- Wiederholgenauigkeit: 50 nm
- kompatibel
Hub: 100, 200, 300 mm
Geschwindigkeit: 5 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,015 µm - 0,02 µm
... Nanometer-Linearachse HV / UHV, 100 - 300 mm Verfahrweg, 0.02 µm Wiederholgenauigkeit, bis 10 kg Last • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10E-11 mbar • Schmierung: flüssig bis 10E-8 mbar / trocken bis 10E-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
Hub: 10 mm
Geschwindigkeit: 5 mm/s
... • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: 120°C • Durchlicht: 80 x 80 mm Optional konfigurierbar: • Mit und ohne Messsystem • Wahlweise mit Gleitgewindetrieb ...
Steinmeyer Mechatronik GmbH
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