Kreuzrollen-Nanopositioniertische

Hub: 100, 200, 300 mm
Geschwindigkeit: 5 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,015 µm - 0,02 µm

Nanometer-Linearachse HV / UHV, 100 - 300 mm Verfahrweg, 0.02 µm Wiederholgenauigkeit, bis 10 kg Last • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10E-11 mbar • Schmierung: flüssig bis 10E-8 mbar / trocken bis 10E-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: ...

Hub: 10 mm
Geschwindigkeit: 5 mm/s

• Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: 120°C • Durchlicht: 80 x 80 mm Optional konfigurierbar: • Mit und ohne Messsystem • Wahlweise ...

Hub: 10 mm
Geschwindigkeit: 5 mm/s

Mikrotisch mit Kreuzrollenführung und Piezomotor für Schrittweiten im Nanometerbereich. Hochauflösender Mikrotisch Der kleinste Tisch im Produktportfolio von Steinmeyer Mechatronik überzeugt durch höchste Auflösungswerte. Mit seiner ...

Hub: 25, 100, 75, 50 mm
Geschwindigkeit: 145, 500 mm/s
Wiederholbarkeit: 75 nm

... Unsere ANT95L-Lineartische der zweiten Generation sind die führende Lösung für Ihre Bewegungs- und Positionierungsanforderungen im Nanometerbereich. Sie sind in einer Vielzahl von Konfigurationen erhältlich und bieten die klassenbeste ...

Hub: 25, 50 mm
Geschwindigkeit: 0,2 m/s
Wiederholbarkeit: 75 nm

Unsere ANT95LZ-Tische der zweiten Generation wurden speziell für Bewegungen und Positionierleistungen im Nanometerbereich in vertikaler Ausrichtung entwickelt. Ein vom Benutzer einstellbares, extrem reibungsarmes pneumatisches Gegengewicht ...