Gleitspindel-Positioniersysteme

Wiederholbarkeit: 0,02 mm - 0,1 mm
Ladung: 3 kg - 120 kg
Geschwindigkeit: 100 mm/s - 4.000 mm/s

... Erfindungspatente, Gebrauchsmuster, Patente für das Erscheinungsbild und 76 Software-Urheberrechte. Das mehrachsige Positioniersystem kann aus mehreren linearen Modulen bestehen, um den Hub, die Präzision, die Geschwindigkeit ...

Wiederholbarkeit: 0,005 µm - 4,4 µm
Ladung: 5 kg - 25 kg
Hub: 100 mm - 365 mm

8-Achs-Positioniersystem / Goniometer Kundenspezifisch anpassbar • Automatisierte 8-Achs-Inspektion aus verschiedenen Winkeln • Koaxiales Drehsystem, welches die Kameras / Sensoren / Beleuchtung um einen gemeinsamen ...

Wiederholbarkeit: 0 µm - 1 µm
Ladung: max 2.0 kg
Hub: 3 mm - 4 mm

MP200-5 Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem Kundenspezifisch anpassbar: • extrem hohe Auflösung bis 0.007 µm • maximale Positioniergenauigkeit mit ± 1.5° in Rx und Ry • Belastbarkeit bis 20 N • feinste ...

Wiederholbarkeit: 1,5, 5,5 µm
Hub: 76 mm
Geschwindigkeit: 50 mm/s

Yield-Maximierung im kleinsten Bauraum Dieses hochpräzise Positioniersystem ist speziell als ergänzender Polarisationsfilter für die Miniaturisierung und Automatisierung in der EUV-Lithografie entwickelt worden. Dieser ...