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2-Achs-Nanopositioniertische
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Hub: 31 mm
Wiederholbarkeit: 80, 160, 1.000 nm
Die SOM-MS-5050 ist der kompakteste Mikroskopietisch von SmarAct und bietet einen Verfahrbereich von 31 mm auf der X- und Y-Achse. Die Abmessungen der SOM-MS-5050 betragen 113 mm in Länge und Breite und 31.15 mm in der ...
SmarAct GmbH
Hub: 51 mm
Geschwindigkeit: 8 mm/s
Wiederholbarkeit: 80, 160, 1.000 nm
Die SOM-8080 ist der kompakteste Mikroskopietisch von SmarAct und bietet einen Verfahrbereich von 51 mm auf der X- und Y-Achse. Die Abmessungen der SOM-8080 betragen 138 mm in Länge und Breite und 23 mm in der Höhe. Wie ...
SmarAct GmbH
Hub: 83, 63 mm
Geschwindigkeit: 8 mm/s
Wiederholbarkeit: 240, 120, 1.000 nm
... 12090 der zweitgrößte Mikroskopietisch von SmarAct. Die SOM-12090 bietet einen Verfahrbereich von 83 mm auf der X-Achse und 63 mm auf der Y-Achse. Sie basiert auf den kompakten SLC-Linearpositionierern ...
SmarAct GmbH
Hub: 101, 121 mm
Geschwindigkeit: 200, 300 m/s
Wiederholbarkeit: 60, 120 nm
Die SOM-MS-180150M ist ein Mikroskoptisch mit elektromagnetischem Antrieb. Mit 121 mm auf der X-Achse und 101 mm auf der Y-Achse bietet der SOM-MS-180150M einen ausreichend großen Verfahrbereich, um ...
SmarAct GmbH
Hub: 103, 123 mm
Geschwindigkeit: 8 mm/s
Wiederholbarkeit: 1.000, 360, 180 nm
Mit 123 mm auf der X-Achse und 103 mm auf der Y-Achse bietet die SOM-180150 die größten Verfahrbereiche aller SmarAct Mikroskopietische. Basierend auf den kompakten SLC Linearpositionierern bietet die ...
SmarAct GmbH
Hub: 10 mm
Geschwindigkeit: 5 mm/s
• Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: 120°C • Durchlicht: 80 x 80 mm Optional konfigurierbar: • Mit und ohne Messsystem • Wahlweise ...
Hub: max 16.0 µm
Die Piezo-Positioniertische PXY basieren auf Piezo-Aktoren, welche mittels Festkörpergelenken dynamisch mit der Genauigkeit im Nanometerbereich präzise positionieren können. Die Piezo-Tische und Piezo-Scan-Antriebssysteme erreichen Positionierwege ...
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