Ihr 3-in-1 Multistrahl-Ionenmikroskop für Nanostrukturierung im Bereich unter 10nm
Erstellen Sie schnell und präzise Nanostrukturen unter 10 nm. Wechseln Sie mit ORION NanoFab nahtlos zwischen Gallium-, Neon- und Helium-Strahlen:
Verwenden Sie den Neonstrahl, um Nanostrukturen mit großer Schnelligkeit und hohem Durchsatz zu bearbeiten.
Verwenden Sie den Heliumstrahl zur Herstellung empfindlicher Strukturen unter 10 nm.
Verwenden Sie das optionale Gallium-FIB zur Abtragung von massivem Material.
Mit ORION NanoFab profitieren Sie von dem einzigen System der Welt, das das vollständige Applikationsspektrum von Mikro- bis hin zur Nanobearbeitung abdeckt und mit Gallium-, Neon- und Helium-Ionenstrahlen arbeitet, die in einem einzigen Instrument integriert sind.