Tisch / Sub-Mikrometer genau XLS-1 Ultra Serieslinearpiezoelektrischermit Subnanometerauflösung
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- linear
- Weitere Eigenschaften
- Sub-Mikrometer genau, mit Subnanometerauflösung
- Hub
Min: 27 mm
(1,063 in)Max: 102 mm
(4,016 in)- Geschwindigkeit
Min: 0 mm/s
Max: 200 mm/s
Beschreibung
Der Xeryon Lineartisch (XLS) ist ein sehr präziser Lineartisch, der von einem geräuschlosen Ultraschall-Piezomotor angetrieben wird. Dies ermöglicht eine schnelle Positionierung mit Nanometergenauigkeit. Der selbsthemmende Piezomotor hält die Position des Tisches, wenn er nicht mit Strom versorgt wird. Dadurch werden der Energieverbrauch und die Wärmeentwicklung erheblich reduziert. Der integrierte Encoder hat eine Auflösung von 78 nm.
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Precision Linear Stages
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