Ionenstrahlgestützte-Auftragsmaschine SPECTOR®

Dünnschicht

SPECTOR Loadlock Ionenstrahl-Sputtersystem für die optische Beschichtung Hervorragender Durchsatz und Wiederholgenauigkeit für ein breites Anwendungsspektrum Das SPECTOR® Loadlock Ionenstrahl-Sputtering-System von Veeco kann für eine Vielzahl von Anwendungen erhebliche Durchsatzverbesserungen erzielen. Das SPECTOR Loadlock System ist in der Lage, die Deposition innerhalb von fünf Minuten nach der Substratbeladung zu beginnen und kann den Durchsatz für Designs, bei denen die Depositionszeit kürzer ist als die typischen Vorverarbeitungsschritte, die von Batch-Werkzeugen gefordert werden, leicht verdoppeln. Die Wiederholgenauigkeit des Systems wird auch durch die Fähigkeit verbessert, die Bedingungen für Prozessparameter wie Druck, Temperatur, Oberflächenzusammensetzung und Ionenquellenleistung konstant zu halten. SPECTOR Loadlock-Anwender können mit einer verbesserten mittleren Wartungszeit (MTBM) für Komponenten wie Radiofrequenzneutralisatoren, Kammerauskleidungen und Abschirmungen rechnen, da sie seltener der Atmosphäre und Feuchtigkeit ausgesetzt sind. In Kombination ermöglichen diese Eigenschaften und Vorteile den Anwendern, die hochwertigsten und präzisesten Folien herzustellen, die auf dem Markt erhältlich sind, und das zu einem Bruchteil der Kosten. Deutliche Durchsatzsteigerung bei Beschichtungsanwendungen mit geringer/mittlerer Dicke Verbesserte Wiederholgenauigkeit durch inhärent stabilere Prozessbedingungen Erhöhte mittlere Zeit zwischen der Wartung mehrerer Schlüsselkomponenten Verbesserte Partikelkontrolle