Lackiermaschine TCS

SCHLEUDERBESCHICHTER TCS Merkmale: Benutzerfreundliche Touchscreen-Schnittstelle Speichern von bis zu 50 Programmen mit 20 Schritten Schnellstart-Taste für wiederholte Prozesse Vakuum- oder mechanische Substratfixierung (Vakuum hat Sicherheitsverriegelung) Transparente Abdeckung mit Sicherheitsverriegelungsfunktion Schleuder-Beschichtungsanlage TCS Die Spin Coater der TCS-Serie sind für F&E und Kleinserienproduktion in den Bereichen MEMS, Halbleiter, PV und Mikrofluidik ausgelegt. Die TCS-Spin-Coater können eine breite Palette von runden Wafern ab Stücken von bis zu 150 mm oder quadratischen Substraten von bis zu 125x125 mm bearbeiten. Es stehen viele Optionen zur Verfügung und können Ihre Anforderungen perfekt erfüllen. Für die beste chemische Kompatibilität mit den Dosierchemikalien kann die Schale aus POM, eloxiertem Aluminium, Polypropylen oder PTFE hergestellt werden Der Spin-Coating-Prozess wird über ein benutzerfreundliches Touchscreen-Display konfiguriert. Der Benutzer kann bis zu 50 Rezepte mit 20 Schritten programmieren. Jeder Schritt kann unterschiedliche Geschwindigkeits-, Beschleunigungs- und Zeitparameter haben. Optionen: Pneumatisches Spritzenausgabesystem Motorisiertes Spritzenausgabesystem Unter Druck stehendes Flaschenabgabesystem mit digitalem Manometer und Druckkontrolle Verschiedene Vakuum- oder mechanische Spannvorrichtungen Werkzeug zur Wafer-Ausrichtung Schüssel aus eloxiertem Aluminium, Polypropylen oder PT Spezifikationen: - Wafergröße bis zu, mm - 150 (6") Substratgröße bis zu, mm - 125x125 Drehzahlbereich, U/min - 0 – 10 000 Versorgungsspannung - 230 VAC 50/60Hz 11A Technisches Vakuum, bar - -0,85 Vakuum-Schlauchanschluss, mm - 6 Abflussanschluss, mm - 12 Auspuff-Anschluss, mm - 40 Abmessungen, mm - 355х490х410 Gewicht, kg - 23