Spektroskopischer Ellipsometer UNECS series

Die UNECS-Serie ist eine Art spektroskopischer Ellipsometer, um den Brechungsindex und die Dicke der Dünnschicht schnell und präzise zu messen. Es verwendet eine einzigartige Messmethode und realisiert die kompakte Größe und die schnelle Messung. Es hat eine starke Produktlinie, wie z.B. den Por-Tischtyp, den automatischen Tischtyp und den eingebauten -in Typ usw. Hochgeschwindigkeitsmessung: Das Snapshot-Messverfahren wird realisiert und die Hochgeschwindigkeits-Messung wird durchgeführt die Messung beträgt 20ms pro Punkt. Sichtbarer Spektralbereich : Der spektrale Wellenlängenbereich kann ausgewählt werden. Der Standardtyp ist 530nm~750nm und der sichtbare Spektraltyp ist 380nm~760nm. Kompakte Sensoreinheit : Die Sensoreinheit ist leichtgewichtig und sehr kompakt. Es besteht aus ein optisches Element, das keinen Drehmechanismus aufweist. In außerdem ist keine regelmäßige Wartung erforderlich. Starke Produktlinie : Es gibt eine starke Produktlinie mit dem tragbaren Typ, dem Handbuch/.... automatischer Stufentyp, der eingebaute Typ und der große Substrattyp usw. BESONDERHEITEN / WEITERE ANWENDUNGEN Messung für transparente oder halbtransparente dünne Schichten dicke(D), Reflexionsindex(N) und Extinktionskoeffizient(K). (Oxid film, Nitridschicht, Fotolackschicht, ITO-Film, etc.)