Turbomolekularpumpe UTM-FH, FW series

geschmierteinstufigmit Rostschutz

Umfangreiche Variationen von 350L/s bis zu den weltweit größten 6300L/s (digital magnetisch gesteuerte Lagerausführung). Aufrechterhaltung einer stabilen Pumpleistung bei Änderung der gegendruck (Baureihe FH). Optionales internes Heizsystem zur Regelung der Rotortemperatur und reduzieren die Haftung von Nebenreaktionsnebenprodukten (FW-Serie). Ausgezeichnete korrosionsbeständige Oberflächenbehandlung (außer 3303FH) und 6300FH). Optionale spezielle Oberflächenbehandlungen (z.B. Nickel) beschichtung + Kationen-Elektrotauchlackierung, spezieller abgeschiedener Film, aluminium-Eloxierung) sind bei Bedarf erhältlich. In alle Richtungen montierbar. Das System mit variabler Geschwindigkeit ermöglicht es, die Geschwindigkeit zu ändern saugvermögen im Bereich von 25% bis 100%. Es gibt keine Einschränkungen bei der Kombination von Netzteil und Pumpe hauptgerät zur Änderung der Kabellänge durch Verwendung einer Kupplung freies System und abstimmungsfreies System. Die Eigenstromerzeugung durch regenerative Energie wird eingesetzt für backup-Stromversorgung bei Stromausfall durch Verwendung von batterielosen Batterien system. Ein lästiger Batteriewechsel ist nicht erforderlich. Eingebaute Überwachungs-/Selbstdiagnose- und Kommunikationsfunktionen ermöglichen die Konfiguration des zentralen Überwachungssystems. Sicherheitskonzept mit Bruchenergieabsorptionskonstruktion kann Schäden am Vakuumsystem bei Störungen reduzieren mit den Pumpen passiert ist. Hohe Lebensdauer und hohe Zuverlässigkeit wurden realisiert durch experimente wie Lufteinschubtests, verschiedene Berührungen, etc down-Tests, Zwangszerstörungstests für Rotor und Fremdkörper materialtropfenprüfung (Si-Wafer-Fall).