Pirani-Vakuumtransmitter VSM

Kaltkathodenmit LCD-DisplayRS485

Absolutdruck 1000 mbar bis 5 x 10-9 mbar (=hPa), 750 Torr bis 5 x 10-9 Torr Die kompakte Kombinations-Messröhre VSM (Pirani/Kaltkathode) misst Absolutdruck von Atmosphäre bis Ultrahochvakuum. Die Intelligenz interner Mikroprozessoren sorgt für einen nahtlosen Übergang der beiden Sensorprinzipien und damit für hohe Genauigkeit. Ihre Vorteile » Großer Messbereich durch Kombinationssensorik Pirani/Kaltkathode » Automatisches Ein-/Ausschalten der Kaltkathode durch den Piranisensor bei niedrigem Druck verlängert die Lebensdauer » Widerstandsfähige Kaltkathoden-Messzelle, unempfindlich gegen Lufteinbruch » Spannungsreduktion der Kaltkathode optimiert Lebensdauer der Sensoren » Digitale RS485-Schnittstelle und analoges Ausgangssignal 1,819-8,6 V oder EtherCAT » Automatische Baud-Raten-Erkennung 9,6 kBd bis 115 kBd » Optional mit großer, integrierter LCD-Anzeige mit Hintergrundbeleuchtung (VSM77DL, VSM79DL) » Zwei unabhängige, potentialfreie Relaisschaltpunkte » Ersatzsensoren mit im Sensorkopf gespeicherten Kalibrierdaten, einfacher Austausch vor Ort Beispiele für Anwendungen » Massenspektrometer » Aufdampf- und Beschichtungsanlagen » Messen und Steuern im Fein- und Hochvakuumbereich » Verfahrenstechnik » Sputteranlagen » Vakuumöfen