Unsere Fotoresist-Beschichtungsanlage PCBA ist speziell für Halbleiter-Fotoresist-Beschichtungsanlagen konzipiert. Es verbessert die Waferausbeute durch Beschichtungssteuerung auf Nanoebene (Schichtdickengleichmäßigkeit ≤ ±1,5 %), Lösungsmittelkorrosionsbeständigkeit (Polyimidsubstrat + IP65-Versiegelung) und intelligente Prozessoptimierung erheblich. Er eignet sich für Produktionslinien großer koreanischer Hersteller wie Samsung und SK Hynix, unterstützt die EtherCAT-Kommunikation und ist nach SEMI-Standard zertifiziert.
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