XY-Tisch KDT600-EDLM

mit Linearmotor2-AchsHochpräzision

Scantisch mit großer Durchlichtöffnung Dieser XY Präzisionskreuztisch ist für höchste Wiederholbarkeit konstruiert. Es lassen sich kostensparend Genauigkeiten mit Kompensation erreichten, die sonst nur Luftlagersystemen vorbehalten sind. Es werden polierte Kreuzrollenführungen für Wiederholbarkeit von Geradheit und Ebenheit von +-0.15 µm verwendet. Mit dem großen Durchlicht können auch große Substrate von beiden Seiten oder mit Durchleuchtung gemessen werden. Auch bietet es die Möglichkeit einer Differenzmessung zum Ausnutzen der vollen Sensorgenauigkeit in Messanwendungen. Auch bei voll verfahrenem Tisch bleibt immer eine Öffnung von wenigstens 60mm x 60mm erhalten. Schnellste Scananwendungen mit hoher Beschleunigung Extrem schnelle Scanergebnisse bei einer Positioniergeschwindigkeit von 330 mm/s Scannen hoher Lasten mit einer extremen Auflösung von 0.05 µm Erreicht kostenoptimiert die vergleichbare Performance von Luftlagersystem Wartungsfreier Betrieb bis zu 500.000 Vollhübe, danach ist nur ein unkompliziertes Nachschmieren nötig - Lebenserwartung bis zu zwei Millionen Vollhübe - Integrierte Kabelführung, steckbares Terminal Anwendungsfelder Schnelle Scananwendungen und dynamische Bahnfahrten z.B. Halbleiterinspektion, Messanlagen, Automatische optische Inspektion (AOI), Messgeräte, Differenzmessung, Ersatz für Luflagertische