Vertikaler Positioniertisch HDT255 series

motorisiertPräzisionfür Schwerlast

• Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: 120°C • Verfügbar als magnetische Ausführung • Optional mit Controller FMC400/450 Optional konfigurierbar: • Mit und ohne Durchlicht • Verschiedene Verfahrwege • Wahlweise mit und ohne Messystem • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer • Optional mit Controller FMC400/450 Präziser Hubtisch für hohe Lasten Der Hubtisch mit Durchlicht ist für hochpräzise vertikale Bewegungen unter extremen Bedin­gungen, wie im Hochvakuum, im Ultra­-Hochvakuum und unter Extrem Ultravioletter Strahlung geeignet. Aufgrund seines Hub-­Keil­-Prinzips erreicht er seine Parameter trotz geringer Bauhöhe von 125 mm. Die Kombination aus Schrittmotor und einem präzisen Kugelgewindetrieb, wahlweise Gleitgewindetrieb, ermöglicht kleinste Schrittweiten bei vergleichsweise hohen Lasten. Anwendungsbereiche Präzisionspositionierung in der Mikroskopie, Industrie und Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Justage und Inspektion von Wafern, Probecards und Leiterplatten, Oberflächenanalyse, Schichtdickenmessung, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Inspektion, Mikroskopie im Vakuum, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron