5-Achs-Positioniersystem 782497:006.26

Drehfür die Halbleiterindustriefür Topographie

MP200-5 Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem Kundenspezifisch anpassbar: • extrem hohe Auflösung bis 0.007 µm • maximale Positioniergenauigkeit mit ± 1.5° in Rx und Ry • Belastbarkeit bis 20 N • feinste Zustellbewegungen bis 0.07 µm durch robuste, selbsthaltende Gleitgewindeantriebe • höchste Störungsresistenz durch die Lagerung durch Festkörpergelenke • absolut gleichbleibende Wiederholgenauigkeit bis ± 0.5 µm über alle Freiheitsgrade • sehr kompakt durch die integrierte 5-Achs-Ansteuerelektronik • einfache Stromversorgung und eine Standard-Datenschnittstelle bilden die Verbindung zum übergeordneten System Der motorisierte Zentrier- und Nivelliertisch bewegt seine fünf Freiheitsgrade extrem gleichbleibend. Das System kann in allen drei Raumachsen verfahren werden. Zusätzlich lässt es sich in zwei Winkeln in der Ebene verkippen. Spezifikationen: - Standard System: MT63-SM - Verfahrweg: 4 mm (XYZ) / 3 mm (RxRy) - Wiederholgenauigkeit: ± 0.07 – ± 1 µm (XYZ) / ± 0.00005 - ± 0.00020 µm (RxRy) - Geschwindigkeit: 0.5 mm/s (XY) / 0.4 mm/s (RxRy) - Max. Last: 20 N - Motor: Schrittmotor (SM), Gleitgewinde Riemen - Feedback: Motor-Encoder - Durchlicht: 45 mm