Ausstoß-Überwachungsgerät ohne Kontakt PPM100

Der PPM100 ist ein eigenständiger Controller/Monitor für SRS-Restgasanalysatoren. Er misst Partialdrücke von SRS-RGAs und den Gesamtdruck von bis zu vier Kapazitätsmanometern. Die grafische Ausgabe erfolgt über ein Touchscreen-LCD-Display. Das PPM100 verfügt über eine 8-Kanal-Prozesssteuerung, vier analoge E/A-Anschlüsse, RS-232-, USB- und GPIB-Computerschnittstellen sowie eine Webschnittstelle. Restgasanalyse Das PPM100 ist für die Überwachung und Steuerung eines einzelnen SRS-RGA ausgelegt. Über eine menügesteuerte Benutzeroberfläche kann der Bediener die RGA-Parameter einfach über die Frontplatte programmieren (d. h. es ist kein Host-PC erforderlich). Die RGA-Daten können als analoger Scan, Partialdruck über der Zeit, Lecktrend (mit Audiosignal) oder als einzelne Massenmesswerte angezeigt werden. Diese Daten können auch mit Alarmen, Prozesssteuerungsrelais und analogen Anschlüssen für die Regelung bestimmter Gasbestandteile verknüpft werden. Bildschirmfoto 1 Analoge E/A Der PPM100 verfügt über vier konfigurierbare analoge E/A-Anschlüsse. Diese können als Ausgänge zur Steuerung von Vakuumzusatzgeräten wie Heizungen, Aktoren, Ionenquellen, speicherprogrammierbaren Steuerungen und Drosselreglern verwendet werden. Als Eingänge können bis zu vier Kapazitätsmanometer gleichzeitig überwacht werden. Datenerfassung Die Daten aller Messgeräte (und aller Analogeingänge) werden mit einer benutzerdefinierten Rate gespeichert. Typische Anwendungen sind die Erfassung von Abpump- oder Entlüftungskurven, die Überwachung von Signalen des Massendurchflussreglers während Abscheidungsprozessen sowie die Überwachung von Temperaturen und anderen zeitabhängigen Variablen während Ausheizen oder Wärmebehandlungen.