Mehrweg-Verteilerblock BGMA

für Gas

Der binäre Gasverteiler (BGMA) hat an jedem Ausgang den gleichen Leitwert für den gleichmäßigsten Gasfluss und die schnellste reaktive Sputterreaktionszeit, unabhängig von der Verteilerlänge. Die Gleichmäßigkeit der Strömung wird durch eine Finite-Elemente-Analyse verifiziert. Es hat eine robuste, einfache Konstruktion und ist leicht zu reinigen. Eigenschaften Gleicher Leitwert an jedem Ausgang unabhängig von der Länge Segmentiert für Hauptgas und Zusatzgase Komplett mit Befestigungsmaterial und Abfallabschirmung Robuste, einfache Konstruktion Vorteile Höchste Gleichmäßigkeit Schnelle reaktive Sputterreaktionszeit Langlebig und leicht zu reinigen