Rotations-Magnetron SC-Series

Sputter

Unser größter intern montierter Endblock, der SC, kann Ziele bis zu 4000 mm handhaben und hat eine Leistung von bis zu 200 kW DC oder 80 kHz MFAC Die SCI-Innenausbau-Endblöcke haben eine hohe Zuverlässigkeit und ein einfaches, wartungsfreundliches Design. Die einseitige Konfiguration reduziert die Anzahl der rotierenden und statischen Dichtungen, eine der häufigsten Ausfallarten bei Rotationskathoden. Unsere einzigartige Wasserbe- und -entleerungsfunktion ermöglicht eine verbesserte Zielkühlung und ein vollständiges Ablassen des Zielwassers beim Abblasen. Diese Konstruktion schließt die Möglichkeit galvanischer Korrosion im Inneren des Endblocks aus, die zu Wasserleckagen und Kurzschlüssen führen könnte. Die SC-Endblöcke von Sputter Components können auf jeder neuen Beschichtungsanlage installiert werden oder können andere Rotationsendblöcke oder Planarsysteme einfach ersetzen. Eigenschaften Patentierte Technologie zur Leistungsübertragung Einzigartige Zielbefestigungsmethode Langlebige, langlebige Rotationsdichtungen Industriestandardmontage am Deckel Nicht-proprietäres Targetdesign Patentierte Zielwasserfüllung und -abfluss Magnetleiste kann in jedem beliebigen Winkel eingestellt werden Vorteile Höchste Zuverlässigkeit auf dem Markt Einfache Installation oder Nachrüstung von konkurrierenden Endblöcken Schnellste verfügbare Zieländerung 1 Stunde jährliche Wartung; 3 Stunden Umbau des gesamten Endblocks Geringste Wartungskosten Verwendung von Targets beliebiger Hersteller Hohe Leistung ohne induktive Erwärmung - kein Bürstenstaub Keine galvanische Korrosion