ÜbersichtUmfassende Palette an Bauteilen und Ausrüstungen für Vakuum- und Sputter-Systeme, entwickelt von Socrate Industrie für Kammerisolierung, Druckregelung und Bewegungstransmission durch Vakuumgehäuse.
Aufgelistete Produkte- Vakuumschalter: Erkennt Vorhandensein oder Verlust des Vakuums am Anschluss; geeignet für elektrische Steuerung und Verriegelungsfunktionen.
- Spezifische Schieber: Beheizte Schieber für zuverlässige Kammerisolierung in Cluster- und Prozesstools.
- Ablassventil: Druckentlastungs-/Ablassventile zum Schutz von Kammern durch Regelung von Überdruck.
- Cathoden: Magnetron-Kathoden ausgelegt für Sputter-Depositionssysteme.
- Drehdurchführungen: Drehende Durchführungen zur Übertragung von Rotation durch Vakuumgehäuse.
Verfügbare Dokumentation (nur Titel)- V-Switch (Dokumentation)
- Gate valve (Dokumentation)
- Safety valve (Dokumentation)
- Magnetron (Dokumentation)
- Feedthroughs (Dokumentation)
Technische Daten- Marke: Socrate Industrie
- Produkttypen: Vakuumschalter, beheizte Schieber, Ablass-/Sicherheitsventile, Magnetron-Kathoden, Drehdurchführungen
- Anwendungen: Vakuumsysteme, Sputter-Systeme, Kammerisolierung in Clustertools, Übertragung rotatorischer Bewegung durch Vakuumgehäuse
- Dokumentation: PDF-Dateien für jedes Produkt verfügbar
- Seitenart: Produktpalette / Komponentenauflistung