Drehbarer Tisch MR-30028

Closed-LoopAluminiummit Direktantrieb

Der SMARSHIFT MR-30028 ist ein großflächiger Rotator mit einem Durchmesser von 300 mm und einer großen Apertur von 110 mm. Er zeichnet sich durch hohe Geschwindigkeit, hohes Drehmoment und lange Lebensdauer bei kompromissloser Präzision aus. Seine kompakten Abmaße und sein niedriges Profil vereinfachen die Integration in bestehende Systeme und lassen genügend Platz für Ihre Anwendung. Anwendungen Der MR-30028 Rotator wurde speziell als Wafer-Rotationstisch entwickelt. Als Plattform für bis zu 300 mm (12") große Wafer kann er für metrologische Verfahren (wie Reflektometrie, Reflexionsspektroskopie, spektroskopische Ellipsometrie (VASE) und andere) oder für die Fertigung (für Wafer-Bonding, EUV-Lithografie und andere) eingesetzt werden. Weitere Anwendungsbereiche sind die optische Ausrichtung von schwereren Objekten in der Photonik und der Astronomie.