Linearer Tisch DLS-5252
piezoelektrischkompaktAluminium

Linearer Tisch - DLS-5252 - SmarAct GmbH - piezoelektrisch / kompakt / Aluminium
Linearer Tisch - DLS-5252 - SmarAct GmbH - piezoelektrisch / kompakt / Aluminium
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Eigenschaften

Ausrichtung
linear
Weitere Eigenschaften
kompakt, Aluminium, Closed-Loop, vakuumkompatibel, nichtmagnetisch
Hub

30 mm
(1,181 in)

Geschwindigkeit

Min: 0 mm/s

Max: 20 mm/s

Beschreibung

Hybrid-Antriebstische kombinieren die Vorteile von Stick-Slip-Tischen mit großem Verfahrweg und hochauflösenden Piezo-Scannern. Wie alle Hybrid-Antriebstische von SmarAct kombiniert der DLS-5252 die Vorteile von Stickslip-Tischen mit langen Verfahrwegen mit hochauflösenden Piezoscannern. Der DLS-5252 ist mit dem SmarAct-Baukastensystem kompatibel, d.h. der Tisch kann problemlos an die CLS-52-Tische, äquivalente Rotationstische und alle Adapterplatten und Verbindungselemente montiert werden. Der Tisch benötigt nur einen Kanal des MCS2, obwohl er aus zwei verschiedenen Antriebseinheiten besteht. Mechanisch Scanbereich [µm] > 35 Blockierkraft [N] > 3,5 Max. Normalkraft [N] 5.0 Max. Hubkraft [N] > 1,5 Gewicht [g] - 130 Abmessungen [mm] 52 x 52 x 15 (L x B x H) Resonanzfrequenz (ohne Last) [Hz] - > 350 Closed-Loop Auflösung des geschlossenen Regelkreises MCS2 [nm] - 1 (S) Abtast-Grenzfrequenz [Hz] - > 10

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