Interferometer für OEM-Anwendungen SP 5000 DI/DS

zur Verschiebungsmessungzur Längenmessungoptisch

Produktbeschreibung
Das SP 5000 DI/DS verbindet das Prinzip des Differenzinterferometers mit einem Mehrstrahlinterferometer und liefert dadurch simultane, hochstabile Längen‑ und interferometrische Winkel (Nick)messungen. Die Konfiguration ermöglicht die Erfassung sehr kleiner Verschiebungen und geringer Verkippungen über größere Flächen bei verminderter Empfindlichkeit gegenüber thermischen und umweltbedingten Einflüssen.

Hauptmerkmale

• Vierstrahliges laserinterferometrisches Weg‑Winkel‑Differenzmesssystem
• Hochstabile differentielle Längen‑ und Nickwinkelmessungen
• Für die Integration an XY‑Tischen und Planspiegeln ausgelegt
• Strahlabstände: 15 mm (Längenmessung) und 6 mm (Winkelmessung)
• Extrem geringe Temperaturempfindlichkeit < 20 nm / K
• OEM‑ und Vakuumversionen auf Anfrage verfügbar

Anwendung und Verwendung
Das Interferometer ist für die Montage an Planspiegeln oder als eingebautes Messsystem konzipiert; ein Betrieb mit Reflektoren ist möglich. Die Justierung erfolgt über ultrastabile optische Komponenten, die in den Strahlengang integriert sind, und gewährleistet reproduzierbare sowie langzeitstabile Messungen.

Anwendungsgebiete

• Gleichzeitige Messung von Länge und Winkel zur Kompensation des Abbe‑Fehlers in Präzisionsmessanordnungen
• Positionsregelung von X‑Y‑Tischen mit zwei Sensorköpfen für koordinierte Messungen
• Langzeitstabile Längen‑ und Winkelmessungen mit höchster Auflösung

Ideal für

• Langzeitmessung und Kalibrieraufgaben
• OEM‑Integration in Präzisionssysteme
• Anwendungen mit höchsten Anforderungen an Stabilität und Auflösung

Technische Spezifikationen

• Messbereich (Länge): 0 m bis ≥ 2 m
• Längenauflösung: 5 pm
• Längenmessunsicherheit: 0,15 µm/m
• Maximaler Kippwinkel (mit Planspiegel): ±430 µrad
• Winkelauflösung: 0,02 µrad
• Strahlabstände: 15 mm (Länge), 6 mm (Winkel)
• Temperaturempfindlichkeit: < 20 nm / K
• Messprinzip: Kombination aus Differenzinterferometer und Mehrstrahlinterferometer für simultane Weg‑ und Winkelmessung
• Ausführungen: Standard, OEM‑Varianten und Vakuumversionen (auf Anfrage)