Interferometer für OEM-Anwendungen SP 5000 DI/F

zur sub-nanometrischen Wegmessungzur Längenmessungoptisch

Ultrastabiles kompaktes Differenz-Laserinterferometer • Differenzlängen- oder Winkelmessung höchster Genauigkeit • Minimierung der Umwelteinflüsse durch Differenzmessung • thermisch ultrastabiler Sensoraufbau, Temperaturempfindlichkeit < 10 nm/K • verschiedene optische Reflektoren einsetzbar, z. B. Kugel-, Planspiegel-Reflektor • große Kippinvarianz des Messreflektors • kompaktes und robustes Design • Ausführung des Sensorkopfes standardmäßig in Edelstahl • Strahlabstand: 14 mm • OEM-Versionen, OEM-Software und Vakuum-Version sind möglich • mit optionalen Schnittstellen als Feedback-System einsetzbar • umfangreiche Triggermöglichkeiten Das ultrastabile kompakte Differenz-Interferometer SP 5000 DI/F ist für Anwendungen konzipiert, bei denen hochstabile Längenmessungen über lange Zeiträume realisiert werden müssen. Das kompakte Sensordesign ermöglicht eine langzeitstabile Justage und Platzierung auch unter beengten Platzverhältnissen, so dass sich das Präzisions-Messsystem hervorragend als Lasermaßstab für geschlossene Regelkreise eignet. Die Anwendung setzt einen externen Referenzpunkt voraus, der in der Regel in der Mitte des Messbereiches platziert wird, um die optimale Messwertstabilität zu erreichen. Das Grundprinzip des Interferometers baut auf der SP 5000 DI Serie auf und erreicht damit ebenfalls Längenauflösungen im Sub-Nanometer-Bereich. Messungen über mehrere Meter sind problemlos möglich, wobei die Reflektoren der SP Serie verwendet werden können.