Zylinderförmiger Magnetron

plan

SIDABRE entwickelt Einzel- und Doppelmagnetrons mit planarer und zylindrischer Geometrie, die entweder als separate Komponenten oder als Teil eines Systems integriert werden können. Diese Geräte können mit besonderen Merkmalen wie geklemmten oder geklebten Targets, direkter oder indirekter Kühlung und entweder externen oder internen Strom- und Kühlwasseranschlüssen ausgestattet werden. Die maximal verfügbare Länge der rechteckigen und zylindrischen Ziele beträgt 2,0 m. Der maximal verfügbare Durchmesser der kreisförmigen Ziele beträgt 400 mm. Wir entwickeln verschiedene Arten von zylindrischen, drehbaren Magnetrons, bei denen die Rotation entweder auf dem Target oder auf den Magneten erfolgt, je nach den Anforderungen des jeweiligen Prozesses. Unsere Vakuumbeschichtungsanlagen sind mit den notwendigen Mitteln ausgestattet, um auf die speziellen Bedürfnisse der Kunden mit maßgeschneiderten Lösungen zu reagieren. SIDRABE kann Systeme liefern, die mit Magnetrons mit oder ohne Stromversorgungs- und Steuerungssystemen sowie PEM- und Gaszuführungssystemen ausgestattet sind, die mit DC-, Puls-DC- oder MF-Stromversorgungen betrieben werden. Unsere breite Palette an umfassender Erfahrung in der Anlagenkonstruktion ermöglicht es SIDRABE, zusätzlich solche Dienstleistungen wie Modifikation, Aufrüstung und Nachrüstung bestehender Vakuumbeschichtungssysteme anzubieten.