Vertikales automatisches Lagersystem

für Kassettefür Reinraumhohe Dichte

Überblick
Automatisierte Hochdichtelagermlösung für die Halbleiterfertigung, entwickelt zur maximalen Nutzung des vertikalen Raums und zur Integration in die Materialfluss- und Handhabungssysteme der Fabrik.

Hauptfunktionen

• Schnelle Inbetriebnahme mit automatischer Materialpegel-Einlern- und Testfunktion
• Hochdichte-Lagerung zur Maximierung von Boden- und Vertikalfläche
• Ausgelegt für 300 mm Wafer-Fabs
• Kompatibel mit ARV, OHT, OHS und manuellen Prozessen
• Integration in Shop-Floor-Materialmanagementsysteme
• Reinraumkonformität: ISO14644-14, SEMI S2 und ESD-Standards

Stocker — Anwendungseinführung
Automatisierte Lager- und Bestandsverwaltungs­lösung für Halbleiter-Produktionslinien, ermöglicht Inline-Buffering und sichere Handhabung von Wafers und Trägern.

Gilt für

• Hochdichte Lagerung und vollständige Nutzung des vertikalen Raums
• Schnelle Zykluszeiten und reaktive Materialflüsse
• Integration in Shop-Floor-Materialmanagementsysteme
• Schnelle Implementierung mit automatischer Einlern- und Testfunktion
• Kompatibilität mit ARV/OHT/OHS/ manuellen automatisierten Prozessen
• Konformität mit Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 und ESD-Standards

E-RACK/TT — Funktionsbeschreibung

• Online-Lagerung für Halbleiter, unterstützt FOUP, CASSETTE, Magazine und Tray
• Schnittstelle zu ARV und manuelles Be- und Entladen möglich
• Standardisierte SEMI-Software-Schnittstelle und modulares Design
• Entspricht Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 und ESD-Standards

Technische Daten

• Anwendung: Automatisiertes Materiallager und Management für die Halbleiterproduktion
• Unterstützte Behälter: FOUP, CASSETTE, Magazine, Tray
• Kompatibilität: ARV/OHT/OHS und manuelles Be-/Entladen
• Reinraumkonformität: ISO14644-14
• Standards: SEMI S2-konform
• ESD-Schutz: Entspricht ESD-Standards
• Design: Modular
• Implementierung: Schnelle Inbetriebnahme mit automatischer Einlern-/Testfunktion
• Ziel-Wafergröße: 300 mm
• Hauptvorteile: Hochdichte Lagerung und optimierte Nutzung des vertikalen Raums