Absolutdrucksensor 225

MembrananalogDC

Das Modell 225 von Setra eignet sich ideal für Reinstgasversorgungssysteme für Halbleiterprozesse und Steuerungsanwendungen, die einen extrem sauberen Betrieb, hohe Durchsatzleistung und außergewöhnliche Langzeitstabilität erfordern. Der GCT-225 ist mit einem geringen Hohlraumvolumen von 0,11 in3 konstruiert, wodurch Partikeleinschlüsse praktisch ausgeschlossen sind, und kann leicht gespült werden. Alle medienberührten Teile sind aus 316L VIM/VAR-Edelstahl mit einer Passivierung von 5 Ra (max. 7 Ra), wodurch Oberflächenunregelmäßigkeiten beseitigt werden und die richtige Oberflächenchemie für Korrosionsbeständigkeit und eine kontaminationsfreie Gasverteilung gewährleistet wird. Jeder Sensor ist massenspektrometrisch auf Heliumleckage mit 1 x 10-9 ATMCC/sec geprüft. Das Modell 225 ist mit einer drehbaren Abdeckung ausgestattet, die einen einfachen Zugang zu den 12-Gang-Potentiometern für die Nullpunkt- und Messbereichseinstellung ermöglicht. Die standardmäßigen schwenkbaren Druckanschlüsse mit Außen- oder Innengewinde entsprechen den Anforderungen der Halbleiterindustrie. Darüber hinaus sind verschiedene andere Anschlussarten erhältlich. Der 225 ist mit einem 5 VDC-, 10 VDC- oder 4-20mA-Ausgang erhältlich. Für den elektrischen Anschluss ist ein sechs Fuß langes Mehrleiterkabel oder ein Bajonettstecker vorgesehen. Der patentierte variable Kapazitätssensor von Setra besteht aus einer VIM/VAR-Membran aus 316L-Edelstahl und einer isolierten Elektrodenplatte. Zwischen dem Sensorkörper und der Elektrodenplatte bildet sich ein variabler Kondensator. Ein Druckanstieg führt zu einer leichten Abrundung der Membran, wodurch sich die Kapazität verringert. Die Kapazitätsänderung wird erkannt und in ein hochgenaues lineares elektrisches Gleichstromsignal umgewandelt. Der einzigartige, kundenspezifische integrierte Schaltkreis von Setra nutzt ein patentiertes Ladungsausgleichsprinzip und ist praktisch EMI/RFI-immun. Anwendungen - Gasschränke - Systeme zur Lieferung hochreiner Gase