Das NanoChrome liefert Ultraspurenmessungen von UHP-Gasen
Durch die Einbeziehung der neuesten Fortschritte in der Gassensorik und der Signalverarbeitungsmethodik revolutioniert das NanoChrome die Reinheitsmessungen im Ultraspurenbereich in der Halbleiterindustrie.
Die endgültige Lösung für UHP-Gasüberwachungsanwendungen
Eine kompromisslose Lösung
Einfache Wartung und reduzierte laufende Kosten
Der NanoChrome ist ein Hochleistungsanalysator, der speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Er bietet höchste Zuverlässigkeit bei der Überwachung von Argon (Ar), Methan (CH4), Kohlenmonoxid (CO), Kohlendioxid (CO2), Wasserstoff (H2), Stickstoff (N2) und Nicht-Methan-Kohlenwasserstoffen (NMHC) in einem breiten Spektrum gängiger Hintergrundgase wie Ar, H2, Helium (He), N2 und Sauerstoff (O2).
Das NanoChrome wurde mit einem größeren Display und der neuesten Software aktualisiert und verwendet einen fortschrittlichen Plasma-Emissionsdetektor (PED) und die empfindliche ProPeak-Software, die beide speziell von Servomex entwickelt wurden.
Die Sensortechnologie des NanoChrome bietet beträchtliche Vorteile gegenüber den herkömmlichen Sensortechnologien Flammenionisationsdetektor (FID) und Reduktionsgasdetektor (RGD) in Bezug auf Leistung, Stabilität, Sicherheit und die Fähigkeit, die laufenden Kosten zu senken.
Die fortschrittliche Signalrückgewinnung von Servomex nutzt patentierte ProPeak-Filterverfahren, um eine hochempfindliche und selektive Messung zu liefern, auf die Sie sich verlassen können. Da der NanoChrome weder einen Methanisator noch brennbares Brenngas benötigt, bietet er auch spürbare Kostenvorteile.
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