Ionenstrahlverdampfer EFM 3

Labor

Verdampfungszone Ø 5 - 20 Millimeter Flußmonitor Integrierter Blendenverschluß Hinter-Laden von evaporant EFM 3 für VT SPM und für Pakete des LEUTNANTS SPM EIN FOKUS-Produkt Das EFM 3 ist für Dünnfilmwachstum und Molekularstrahlepitaxie bestimmt. Vor-monomolekularer Film und mehrschichtige Systeme können mit der Verdampfungrate produziert werden, die aus monomolekularem Film 1/10 pro Minute zu über 1000 monomolekularen Filmen pro Sekunde sich verändert. Wassererkühlung stellt niedrigen Hintergrunddruck (gewöhnlich in der mbar Strecke 10-10) während der Verdampfung - sicher und erlaubt folglich das Wachstum der ultra-reinen Filme. Der genau definierte evaporant Lichtstrahl erlaubt in hohem Grade konstante Absetzung auf der Probe. Der Absetzungbereich wird durch die Wahl von drei unterschiedlichen leicht austauschbaren Ausgang Blendenöffnungen und den Abstand von der Quelle zur Probe festgestellt. Ein Teil des evaporant Lichtstrahls wird ionisiert. Wenn diese Ionen das Substrat schlagen, können sie Defekte in der Substratoberfläche verursachen und Energie niederlegen. Um dieses zu vermeiden kann das EFM 3 mit einem Ionenentstörer beliebig ausgerüstet werden der die Ionen zurück in das EFM abstößt.