Solar-Auftragsmaschine LPCVD

Hauptsächlich verwendet für die Abscheidung von Poly-Si-Schichten und die In-situ-Dotierung bei der Herstellung von C-Si-Solarzellen. Verarbeitungsschritte Entfernung von Sägeschäden→Vorreinigung→Monotexturierung→Nachreinigung→Säurereinigung→Heißwassertrocknung→Trocknung (nur zur Information) Merkmale - Chemische Gasphasenabscheidung bei niedrigem Druck. - Mehrfach wassergekühlte Rohrversiegelungstechnologie. - Doppelschichtige Quarzrohrstruktur. - Unabhängig geregelter, sektionaler Lufteinlass. - Translatorischer Mechanismus zum Antrieb der Ofentür. - Integrierter Hochgeschwindigkeits-Modulschiffchen-Schiebemechanismus. - Digitale Steuerung. - Mehr Temperaturzonenregelung. - Intelligente automatische Steuerung. - Alarmschutz für Überhitzung, Thermoelementbruch und Bootskollision.