Automatisches Handlingsystem SYZ-VI-B
kontinuierlichhorizontalvertikal

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Eigenschaften

Betriebsmodus
automatisch, vertikal, horizontal, kontinuierlich
Produktanwendungen
für Wafer
Anwendung
Prozess, Kühlung

Beschreibung

Integriertes Laden und Entladen von Wafern, Entladen der Wafer vom Quarzboot in die Kassette oder Laden der Wafer von der Kassette in das Quarzboot. Erhältlich für doppelte Back-to-Back-Wafer in einem Schlitz, die eine einseitige Diffusion realisieren, oder für einzelne Wafer in einem Schlitz für doppelseitige Diffusion. Mit kontinuierlicher Wafer-Beladung und -Entladung kann die kontinuierliche Produktion gewährleistet werden, aber auch nur für die Wafer-Beladung oder -Entladung ist verfügbar. - Mit importierten Sechs-Achsen-Lift zu laden / entladen und sorgt für eine hohe Zuverlässigkeit der Kommissionierung und Platzierung von Wafern; - Mit IPC-basierten laufenden Master-Computer-Software in HMI, High-Speed-Daten-Interaktion kann durch Netzwerk-Kommunikation realisiert werden. - Mit präzisen Erkennungskomponenten, um die dynamische Position des Quarzbootes zu dektect die Positionierung zu beheben. - Mit Kühlsystem vor dem Entladen, die jede schädliche Wirkung auf die Wafer und Ausrüstung durch hohe Temperatur verursacht vermeiden kann. - Der Kamm und der Greifer verfügen über eine spezielle Verarbeitungstechnologie, die die Abdrücke auf den Wafern stark reduziert - Die Kassette kann vertikal oder horizontal sein, der Kunde kann flexibel nach seinen Bedürfnissen wählen - MES-Funktion, Blechwiderstandserkennung und AGV, optional.

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Messen

Sie können diesen Hersteller auf den folgenden Messen antreffen

Intersolar 2024
Intersolar 2024

18-21 Juni 2024 Munich (Deutschland) Halle Vide - Stand A2.137

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    * Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.