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Automatisierungsystem für Produktion RTA-ALD9000L/ULfür Prozess
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Eigenschaften
- Merkmal
- für Produktion, für Prozess
Beschreibung
Prozess :
● Passend für M2 (156.75),M4 (161.75),G1 (158.75),M6 (166),M10(182),M12(210) und 230mm Siliziumwafer
● Kompatibel zu verschiedenen Größen von PERC-Geräten
Merkmale:
● Be- und Entladen: Kassette oder Stapel
● 3 Zuführungen, 3 Entladungen
● Ausgabe: Graphit-Trägerbox
● Optionale Unterstützung von MES-Schnittstelle und Remote-Debug-Funktion Optionale intelligente IGV-Schnittstelle
● OEE-Statistik & Energieverbrauchsanalyse Verbrauchsanalysefunktion
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.