Gasfilter GasPro ™ TEM-2260 series

PatronenProzessEdelstahl

Neue Produkteinführung: GasPro ™ TEM-2260 High Flow PTFE 316L In-Line Filter GasPro ™ Filter der Serie TEM-2260 wurden speziell für die Filtration von Halbleitergasen entwickelt, wenn ultrahohe Durchflussraten erforderlich sind. Diese komplett geschweißte Baugruppe liefert eine Partikelrückhaltung von 0,003 Mikron, wenn eine hohe Durchflussrate erforderlich ist und der Platz begrenzt ist. Eine PTFE-Membran und eine Polypropylen-gestützte Patrone sind in einem elektropolierten, geschweißten Gehäuse aus Edelstahl 316L eingeschlossen. Die Endmontage wird mit filtriertem Stickstoff für die anfängliche Sauberkeit gespült. Anwendungen umfassen: - Allgemeine und prozessinerte Anlagengase. - Saubere, trockene Luft (CDA*) für kritische Prozesse, einschließlich FOUP-Reinigung (Front Opening Unified Pod) und Fotolithografie. Sehen Sie sich das Datenblatt für weitere Informationen an.