Sputtertarget
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Beschreibung
Im Magnetronsputterverfahren werden unter anderem Dünnschichten aus Molybdän für Flachbildschirme oder CIGS-Solarzellen hergestellt. Molybdän-Sputtertargets von Plansee sind das Ausgangsmaterial. Sie haben eine Reinheit von 5N, eine homogene Mikrostruktur und eine sehr gute Oberflächenqualität. Dadurch sind höhere Sputtergeschwindigkeiten, eine minimierte Partikelbildung während des Prozesses und homogene Schichten garantiert.
Verfügbare Molybdän-Legierungen: MoTa, MoNb, MoNa, MoW
Sie können zwischen ein- und mehrteiligen Flachtargets wählen. Flachtargets sind für alle gängigen Systeme sowie für spezifische Kundenanforderungen erhältlich. Rohrtargets sind ebenfalls erhältlich.
Kataloge
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.