Die neue, kompakte Labor-Sinteranlage SIN 20 wurde für die einfache und schnelle Entwicklung sowie Optimierung von Sinterprozessen konzipiert.
Das patentierte Softtool ermöglicht die Prozessierung verschiedenster Layouts mit nur einem Oberwerkzeug. Änderungen am Design der Bauelemente und die Herstellung unterschiedlicher Kundenmuster sind hierdurch ohne aufwändige Werkzeuganpassungen realisierbar. Zudem erlaubt das Softtool die Versinterung mehrerer Lagen in einem Prozessschritt.
Flexibles Oberwerkzeug (High-force Softtool oder Hardtool)
Zielanwendungen:
– Sinterung von Halbleitern auf keramischen Substraten und auf Leadframes
– Sinterung von Substraten auf Bodenplatten
– Sinterung von Dieoberseitenkontaktierung
– Sinterung von High-Power LEDs
Hermetisch abgeschlossene Prozesskammer
Sinterprozessfläche: max. 100 x 100 mm
– Max. Produkthöhe: 50 mm
– Min. Produktabstand: 0 mm
Heizsystem:
– Heizplattentemperatur: bis 350 °C
– Separate Heiz- und Kühlzonen
Sinterpresse:
– Dynamisch anpassbare Presskraft von 1 bis 200 kN
– Max. Presskraft im Dauerbetrieb: 175 kN
– Dynamisch anpassbarer Druck: Softtool bis 30 MPa und Hardtool bis 60 MPa
– Dynamisch gesteuerte und überwachte Druckrampen
– Fahrgeschwindigkeit: aufwärts bis 17,5 mm/s, abwärts bis 27,5 mm/s
Prozessgase:
– Präzise Kontrolle der Prozessgase (N2, N2/O2, N2/H2, HCOOH)
– Gasdruck: 1 - 960 mbar
Prozesskontrolle und Benutzeroberfläche:
– Frei programmier-, steuer- und überwachbare Prozessparameter (Temperaturprofile, Prozessgase und Sinterdruck)
Netzwerkanbindung:
– Ethernet-Schnittstelle
– Fernzugriff (VPN)
Geringer Energie- und Medienverbrauch
International patentiertes System