Linearer Piezoaktor N-216 NEXLINE® series
für schwere Lastenvorgespanntmit hoher Kraft

linearer Piezoaktor
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Eigenschaften

Bewegung
linear
Weitere Eigenschaften
für schwere Lasten, vorgespannt, mit hoher Kraft
Hub

20 mm (0,787 in)

Belastung

Max: 800 N

Min: 300 N

Geschwindigkeit

0 m/s, 0 m/s, 0 m/s (0 ft/s)

Beschreibung

Stellkraft bis 600 N Haltekraft bis 800 N Stellweg 20 mm Direktmessender Linearencoder mit Auflösung 5 nm Einsatzgebiete Industrielle Präzisionspositionierung Halbleitertechnik Halbleitertests Wafer-Inspektion Lithografie Nanoimprint Nanometrologie Bewegung in starken Magnetfeldern und im Vakuum Hochgenaue Positionsmessung mit inkrementellem Linearencoder Kontaktlose optische Linearencoder messen die Position mit höchster Genauigkeit direkt an der Plattform. Nichtlinearitäten, mechanisches Spiel oder elastische Deformation beeinflussen die Messung nicht. Nanometer-Präzision und hohe Vorschubkraft mit PiezoWalk® Schreitantrieben Im PiezoWalk® Schreitantrieb führen mehrere Piezoaktoren eine Schreitbewegung aus, die zum Vorschub eines Läufers führt. Die Ansteuerung der Aktoren ermöglicht kleinste Schritt- und Vorschubbewegungen bei einer Auflösung von weit unter einem Nanometer. Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen Piezomotoren von PI können vakuumtauglich gestaltet werden und sind für den Betrieb unter starken Magnetfeldern geeignet. Hierfür werden Sonderversionen der Antriebe angeboten. Piezoschreitantriebe können auch in Reinräumen oder in Umgebungen mit harter ultravioletter Strahlung eingesetzt werden.

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Lieferkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.