Überwachungssystem für Reinraum APA 302
Umgebung

Überwachungssystem für Reinraum
Überwachungssystem für Reinraum
Zu meinen Favoriten hinzufügen
Zum Produktvergleich hinzufügen
 

Eigenschaften

Anwendungsbereich
für Reinraum, Umgebung

Beschreibung

Der APA 302 ist ein einzigartiges produktionsbegleitendes Überwachungssystem für modernste Verfahren zur Herstellung integrierter Schaltkreise im Reinraum. Dieses innovative Gerät misst durch Luftströmungen übertragene molekulare Verunreinigungen (Airborne Molecular Contamination, AMC) in einer Transportbox (FOUP) und in deren unmittelbarer Umgebung. Die Messung erfolgt in Echtzeit mit hoher Empfindlichkeit im ppbv-Bereich. Verunreinigungen effizient überwachen Während der Wartezeit vor dem nächsten Prozessschritt werden im Inneren des FOUP Feuchtigkeit und durch Luftströmungen übertragene molekulare Verunreinigungen wie Fluorwasserstoff freigesetzt. Diese Verunreinigungen können Kristallwachstum auf strukturierten Wafern erzeugen, was zu Ausbeuteverlust und Leistungsverschlechterung führt. Der APA 302 von Pfeiffer Vacuum entnimmt Gasproben durch die Filter eines FOUP. Die hochempfindliche Messung mit Nachweisgrenzen im ppbv-Bereich dauert nur zwei Minuten. Die eingesetzten Analyseverfahren sind Ionenmobilitätsspektroskopie, Flammenionisationsdetektion, UV-Fluoreszenzspektroskopie oder Cavity-Ringdown-Spektroskopie. Befindet sich kein FOUP in den Ladebuchten, analysiert der APA 302 die Umgebung im Reinraum. Zuverlässige Analyse der FOUP-Umgebung Der langzeitstabile zuverlässige Betrieb des SEMI S2/S8-konformen APA 302 wird durch regelmäßige Aktivierung der integrierten Autokalibrierungsfunktion sichergestellt. Die Überwachung der AMC innerhalb des APA kann in mit Wafern bestückten oder leeren Transportboxen durchgeführt werden.

Messen

Sie können diesen Hersteller auf den folgenden Messen antreffen

analytica 2024
analytica 2024

9-12 Apr. 2024 München (Deutschland)

  • Mehr Informationen
    36th Control 2024
    36th Control 2024

    23-26 Apr. 2024 Stuttgart (Deutschland) Halle 8 - Stand 8312

  • Mehr Informationen
    * Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.