Überwachungssystem für Reinraum ADPC 302
Umgebung

Überwachungssystem für Reinraum
Überwachungssystem für Reinraum
Zu meinen Favoriten hinzufügen
Zum Produktvergleich hinzufügen
 

Eigenschaften

Anwendungsbereich
für Reinraum, Umgebung

Beschreibung

Das ADPC 302 von Pfeiffer Vacuum ist ein einzigartiges produktionsbegleitendes Kontaminationsmanagementsystem zur Überwachung von Partikelverunreinigungen in der Halbleiterindustrie. Effiziente Überwachung von Partikeln Partikel in Submikrometergröße können auf den Wafern Schäden verursachen, die zu einem beträchtlichen Ausbeuteverlust führen. Schon kleinste Teilchen mit einer Stärke im Bereich von 0,1 µm sind oft die Ursache für Beschädigungen der Strukturen der Halbleiterchips. Das innovative ADPC 302 misst die Anzahl der Partikel in Wafer-Transportboxen (Front Opening Unified Pod, kurz FOUP, sowie Front Opening Shipping Box, kurz FOSB). Das patentierte vollautomatische Verfahren erkennt und zählt Teilchen auf der Oberfläche der Transportboxen einschließlich der Türen. Das System wurde von führenden Halbleiterherstellern qualifiziert und kann sowohl in der Serienproduktion als auch zu Analysezwecken im Bereich Forschung & Entwicklung eingesetzt werden. Anwendungsschwerpunkte sind neben der Transportbox-Charakterisierung eine Optimierung der Dekontaminationsstrategie sowie die Qualitätskontrolle der Reinigung. Die Vorteile des ADPC Kontaminationsmanagementsystems Das trockene Verfahren (Dry Particle Counter) des ADPC zeigt eindeutige Vorteile gegenüber der herkömmlichen nassen Methode (Liquid Particle Counter). Der Hauptvorteil des trockenen Prinzips liegt darin, dass die Partikelmessung vollautomatisch abläuft. Sie ist in den Herstellungsprozess eingebunden und muss nicht außerhalb der Produktionszeit durchgeführt werden.

Messen

Sie können diesen Hersteller auf den folgenden Messen antreffen

analytica 2024
analytica 2024

9-12 Apr. 2024 München (Deutschland)

  • Mehr Informationen
    36th Control 2024
    36th Control 2024

    23-26 Apr. 2024 Stuttgart (Deutschland) Halle 8 - Stand 8312

  • Mehr Informationen
    * Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.