Überwachungssystem / Molekülkontamination durch Raumluft AMPC

für ReinraumEchtzeitMehrpunkt

Umgebungsüberwachung (Ambient Multi Port Controlling) Das AMPC-System ist die ideale Lösung für die Überwachung von Reinraumumgebungen und Frontend-Modulen (EFEM). Durch Luftströmungen übertragene molekulare Verunreinigungen (Airborne Molecular Contamination, AMC) sind in Halbleiterfabriken bekanntermaßen der wesentlichste Faktor für Ausbeuteverluste. Um kontrollieren und nachvollziehen zu können, woher Verunreinigungen kommen, bringt Pfeiffer Vacuum jetzt eine einzigartige Lösung auf den Halbleitermarkt, mit deren Hilfe sich sowohl Reinraumumgebungen als auch Frontend-Module (Equipment Front End Module, EFEM) überwachen lassen. Kundennutzen • - Echtzeitmessung von Stoffverbindungen (Säuren, Basen, organische Verbindungen) • - Innovative Software zur Verwaltung von Prioritätsstufe, Qualitätskontrolle (QC) und Warnmeldungen für Probeentnahmeanlagen • - 96 Probeentnahmeanlagen in einem System versammelt (bis zu acht Analysatoren) • - Hoher Durchsatz (Analyse und Reinigung in drei Minuten) • - Keine gegenseitige Verunreinigung der verschiedenen Probeentnahmeanlagen Dank eines innovativen Designs mit integrierten Ventilen kann das AMPC die modernsten Analysatoren zum Nachweis und zur Quantifizierung von Säuren, Basen und organischen Verbindungen an bis zu 96 Stellen in einem Halbleiterwerk aufnehmen. Zum AMPC-Produktprogramm gehören zwei Systeme: das AMPC S und das AMPC L, die sich hinsichtlich ihrer Außenabmessungen, der Anzahl der Probeentnahmeanlagen und der verfügbaren Optionen unterscheiden.