Kapazitiver Vakuummeter AktiveLine series

analog

Totaldruckvakuummeter mit analogem Signalausgang Die ActiveLine Baureihe bietet eine große Auswahl an Vakuummetern mit unterschiedlichen Messprinzipien und klassischem Analogausgang. Die Reihe deckt damit das technisch interessante Vakuum vom Ultrahochvakuum bis zum Überdruckbereich ab. Die druckproportionale Ausgangsspannung der Transmitter kann durch die drei Steuergeräte als Druck zur Anzeige gebracht oder über Analogeingänge zur Weiterverarbeitung in Steuerungsanlagen eingelesen werden. Die Reihe umfasst hochgenaue Kapazitätsvakuummeter in SI-Einheiten (CMR) für die Prozesskontrolle und -steuerung sowie korrespondierende Torr-Typen (CCR) für den direkten Einsatz in Halbleiterprozessen ohne Steuergeräte