Gasdruckregler SMSQ2Micro series

MembraneinstufigMessing

Die Baureihen SMSQ2Micro und SMSQ2Micro130E sind die fortschrittlichsten Miniatur-UHP-Druckregler auf dem Markt. Die Baureihen bieten eine äußerst präzise und zuverlässige Druckregelung, die die Leistung von MFCs (Massenstromreglern) verbessert – was für die Wiederholbarkeit und Ausbeute in der Halbleiterfertigung von entscheidender Bedeutung ist. Die Baureihen zeichnen sich zudem durch hervorragende Dichtheit und geringe Partikelbildung aus – beides wesentliche Anforderungen für Halbleiteranwendungen. Die Regler eignen sich sowohl für den Einsatz mit Inertgasen als auch mit korrosiven Gasen und reagieren außergewöhnlich schnell auf sprunghafte Änderungen des Durchflussbedarfs. Die Baureihe nutzt eine einzigartige, selbstzentrierende Konstruktion mit gebundener Membran, die für eine zuverlässige Sitzabdichtung und Druckregelung sorgt. Die Partikelbildung und -einschließung wird durch den Verzicht auf die Kegelfeder und die Gewinde zur Sitzbefestigung minimiert, was die Prozessreinheit und die Spülleistung weiter verbessert. Die medienberührten Komponenten der SMSQ2Micro-Serie werden aus Spezialmetallen gefertigt, um außergewöhnliche Korrosionsbeständigkeit, Dichtheit und maximale Lebensdauer bei einem Eingangsdruck von bis zu 250 psig zu gewährleisten. Das Gehäuse ist innen elektropoliert und wird aus dem von Parker Veriflo entwickelten Vericlean™ 316L-Edelstahl gefertigt, der die Materialanforderungen nach Semi F20 übertrifft; jede Membran und jeder Kegel sind aus Hastelloy C-22® gefertigt, und jeder Sitz ist wahlweise in PCTFE oder Vespel® erhältlich. Sowohl das Modell SMSQ2Micro als auch das Modell SMSQ2Micro130E zeichnen sich durch eine kompakte Grundfläche für die Oberflächenmontage gemäß den SEMI-Spezifikationen für modulare Schnittstellen aus und sind sowohl in C-Seal- als auch in W-Seal-Konfigurationen erhältlich.