Thermischer Massen-Durchflussregler II

für Gasfür StickstoffEdelstahl

Übersicht
Der Massendurchflussregler Series II Standard bietet präzise Messung und Regelung über einen großen Durchflussbereich (0,014 sccm–1.670 slpm). Entwickelt für Industrie- und Laboranwendungen mit Multi-Gas- und Multi-Range-Optionen, auswählbaren Schnittstellen und korrosionsbeständigen 316L-Benetzungsmaterialien.

Hauptmerkmale

• Durchflussbereich: 0,014 sccm–1.670 slpm
• Hohe Genauigkeit: ±0,5% Messwert + ±0,1% FS (bereichsabhängig)
• Turndown-Verhältnis: 1:50 (bis 1:187,5 im digitalen Modus)
• Benetztes Material/Körper: 316L Edelstahl; Oberflächenrauheit ≈ 0,8 µm
• Kommunikation: analog oder digital (RS-232, DeviceNet, Profibus-DP, Modbus-RTU)
• Ventiloptionen: normalerweise offen oder normalerweise geschlossen

Technische Daten

• Max. Durchfluss: bis zu 1.670 L/min
• Druckregelbereich: 928 PSIA – 1.450 PSIA
• Anschlussarten: Compression, Face-Seal Male, andere; Größen 1/8"–1/2" (6 mm–20 mm)
• Dichtungsmaterialien: EPDM, Kalrez, Viton (Standard)
• Genauigkeitsangaben: ±0,5% Messwert + ±0,1% Vollskala (±1% FS für 3–5 ml/min; ±2% FS für <3 ml/min)
• Wiederholbarkeit: < 0,2% Messwert
• Einschwingzeit: 2–4 Sekunden (Standard)
• Regelstabilität: < ±0,1% FS (typisch bei 1 L/min N2)
• Betriebstemperatur: -10 °C bis 70 °C
• Temperaturkoeffizient: null < 0,05% FS/°C; span < 0,05% Messwert/°C
• Druckkoeffizient: ~0,1 ATM (N2); ~0,01%/ATM (H2)
• Leckrate: unter 2 x 10-9 mbar·L/s He (getestet)
• Aufwärmzeit: 30 min für optimale Genauigkeit; 2 min für ±2% FS
• Schutzart: IP40
• Stromversorgung: +15–24 Vdc, max. Verbrauch 320 mA (plus 50 mA für Profibus)
• Schnittstelle elektrisch: 9-poliger D-Stecker

Anwendungen

• Gasversorgung und -mischung
• Halbleiterprozesse und F&E
• Analytische Messgeräte und Kalibrierung
• Industrielle Prozesssteuerung und Pilotanlagen

Bestellinformationen

• Geben Sie Durchflussbereich, Kalibriergas, Anschlussart/-größe, Dichtungsmaterial und Ventilfunktion an
• Wählen Sie Kommunikationsoption (analog, RS-232, DeviceNet, Profibus, Modbus)
• Zubehör: Montagewinkel, Kalibrierzertifikate, Schnittstellenkabel