O-Ring-Dichtung

PTFErechteckigVakuum

Evolve™, eine von Parker patentierte PTFE-FFKM-Dichtung, eignet sich hervorragend für den Einsatz in der Halbleiterindustrie und bietet dank der integrierten PTFE-Plasmabarriere eine unübertroffene Plasmabeständigkeit und überragende Sauberkeit. Ideal für High-Tech-Anwendungen. Die patentierte Evolve™-Dichtungstechnologie von Parker bietet Anwendern eine unvergleichliche Plasmabeständigkeit und eine phänomenale Sauberkeit der Dichtung für statische und quasi-dynamische Dichtungsanwendungen anstelle von Standard-O-Ringen. Durch die Verwendung einer PTFE-Abschirmung als Plasmabarriere bietet die PTFE-FFKM-Verbundvakuumdichtung eine bahnbrechende Leistung in Halbleiterfertigungsanlagen, indem sie die Betriebszeit der Dichtung um das Zwei- bis Zehnfache verlängert und Leckagen und Verunreinigungen der Dichtung durch Plasmaangriffe drastisch reduziert. Dies stellt einen erheblichen Fortschritt gegenüber herkömmlichen O-Ring-Dichtungslösungen dar. Im Gegensatz zu herkömmlichen Dichtungen ist die Evolve-Dichtung so konstruiert, dass unerwartete Werkzeugstillstände aufgrund von Dichtungsausfällen vermieden werden. Dies ermöglicht den Fabriken eine strategische Planung der vorbeugenden Wartung auf der Grundlage des mechanischen Verschleißes und nicht der unvorhersehbaren Verschlechterung der Dichtung. Neben ihren überlegenen Materialeigenschaften wurde die Evolve-Dichtung mit Blick auf den Anwender entwickelt. Sie verfügt über integrierte Rippen oder Noppen, die den einfachen und unkomplizierten Einbau in bestehende Dichtungsnuten wie Schwalbenschwanz-, Halbschwalbenschwanz- und Rechtecknuten erleichtern. Darüber hinaus kann die Dichtung für kundenspezifische Nutenkonfigurationen je nach Kundenanforderung für eine beliebige Anzahl typischer statischer und quasistatischer Anwendungen entwickelt werden, darunter: -Kammerdeckeldichtungen -Auslassventile iSO-Ventildichtung -Wafer-Sockeldichtung -Dichtung der Schlitzventiltür sichtfenster-Dichtung dichtungen für Gaseinlass/-auslass gasring- und Gasdüsendichtungen -Fensterdichtungen -Armaturendichtungen