Das Q-MACS Process MC ist ein mobiles Mess- und Überwachungssystem zur in situ Online-Diagnostik von industriellen Prozessen, wie Ätz-, Beschichtungs- und Nitrierplasmen mit dem Potential zur kennzahlgesteuerten Prozessführung. Es basiert auf der bewährten Q-MACS Basic Technologie. Dieses in situ Messsystem nutzt die Infrarot-Absorptionsspektroskopie zur Bestimmung von absoluten molekularen Konzentrationen der überwachten Spezies im Prozessraum. Die optische Anbindung zum Prozessreaktor erfolgt dabei über Standard-Vakuumflansche.
System mit geschlossenem optischen Pfad
Ausstattung mit 1 bis 4 Laser
Empfindlichkeit % - ppb
Zeitauflösung bis <1ms
Das Q-MACS Process MC beinhaltet alle für den Betrieb des Systems benötigten Geräte und Software.