Vakuumkammer für Ultrahochvakuum

Edelstahl

Übersicht
MTVacuum liefert Vakuumkammern und Komponenten für Dünnschichtabscheidungssysteme. Die Produkte sind für Vakuumprozesse ausgelegt und können nach Kundenspezifikation angepasst werden (Abmessungen, Flanschkonfigurationen, Durchführungen).

Interne Metallbearbeitung und Schweißkompetenz

• Hauptfertigungsverfahren intern durchgeführt: Schneiden, Biegen und Umformen von Metall.
• Schweißverfahren: TIG- und MIG-Schweißen durch qualifizierte Fachkräfte.
• Verarbeitete Materialien: Kohlenstoffstahl, Edelstahl und Aluminiumlegierung.

Qualitätskontrolle und Prüfungen

• Zerstörungsfreie Prüfungen verfügbar: Helium-Leckprüfung, Röntgeninspektion, Druckprüfung und Ultraschallprüfung.
• Zerstörende Prüfungen und Werkstoffprüfungen (mechanische Prüfungen, Metallographie) auf Anfrage zur Überprüfung von Konformität und Zuverlässigkeit.

Anwendungen
Entwickelt für Dünnschichtabscheidungssysteme (PVD, CVD) und verwandte Vakuumprozesse in den Bereichen Halbleiter, Optik, Beschichtung und Forschung.

Spezifikationen / Technische Daten

• Produkttyp: Vakuumkammern und Komponenten für Dünnschichtabscheidungssysteme.
• Fertigungsspektrum: internes Schneiden, Biegen, Umformen und Schweißen.
• Schweißverfahren: TIG, MIG.
• Materialien: Kohlenstoffstahl, Edelstahl, Aluminiumlegierung.
• Qualität/Prüfungen: Helium-Leckprüfung, Röntgeninspektion, Druckprüfung, Ultraschallprüfung; zerstörende/Materialprüfungen auf Anfrage.
• Anpassung: kundenspezifische Ausführungen nach Vorgaben (Abmessungen, Anschlüsse, Durchführungen, Oberflächenbeschaffenheit).